接触式传感器非接触式传感器栅尺单元附件・选件传感器・设备组合单元污性优异、更大间隙GAP)。可根据用途从3种安装方式中选择。・检出原理：光电式・最大有效测量长度：12000 mm・分辨力：0.001 µm・最大响应速度：8000 mm/s器或PC即可轻松进行安装调整。・检出原理：光电式・最大有效测量长度：3000 mm・分辨力：0.05 µm・最大响应速度：2600 mm/s高加速度控制。・检出原理：电磁感应式・最大有效测量长度：3000 mm・分辨力：0.1 µm・最大响应速度：5000 mm/s・检出原理：光电式・最大有效测量长度：3000 mm・分辨力：0.01 µm・最大响应速度：1200 mm/s绝对系统敞开式栅尺单元ABS ST700实现了敞开式绝对测量。采用非接触检出，最适合线性电机等的高速、增量系统敞开式栅尺单元ST36输出信号周期为4µm的二相正弦波的高精度机型。可根据用户的规格从4种输出信号波形中选择。绝对系统敞开式栅尺单元ABS ST1300采用远心光学系统成像方式。与以往的光电式相比，具有强稳定性(抗增量系统敞开式栅尺单元ST46-EZA搭载用按钮操作的“信号自动调整功能（EZA功能）”。具有宽松的安装允许范围。此外，使用连接器外壳上配备的“设置指示器”，无需使用示波在直线方向上标有刻度，以数字数据输出移动量和位移量。用于NC机床、半导体制造设备、检查设备等的定位和控制。11-9传感器・设备组合单元11控制用直线栅尺(线性编码器)
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