接触式传感器非接触式传感器栅尺单元附件・选件传感器・设备组合单元接触式位移传感器—传感器542系列耐环境型传感器(光栅式)LG200沿袭了LG100系列的抗振性和抗冲击性，改进了机身尺寸。截面积约为LG100-110的1/5。575系列分体式传感器(容栅式)LGS-1012P配备了静电电容式绝对编码器，即使关闭电源也不会改变原点位置。542系列耐环境型传感器(光栅式)LG100适合在线和测量室使用的高精度传感器。保证整个测量范围内的重复542系列分体式传感器(高精度光栅式)LGH在10mm宽范围内实现了与激光干涉仪相同的0.005µm或0.01µm的高分辨力和高精度。性0.3 µm(2σ)和窄范围精度0.5 µm(任意20 µm的范围)。可满足省空间、耐环境性、成本、精度等各方面的需求和用途。备有用于优化生产现场的产品阵容。备有可以高精度测量设备移动量和测量对象尺寸的接触式传感器，可以高精度测量圆柱形工件外形和间隙、对象工件表面结构等的非接触式传感器。Digimatic1111-3・测量范围: 10 mm・分辨力: 1 µm/0.5 µm/0.1 µm・测量范围: 12.7 mm・分辨力: 10 µm・测量范围: 10 mm/25 mm/50 mm・分辨力: 1 µm/0.5 µm/0.1 µm・测量范围: 10 mm・分辨力: 0.01 µm/0.005 µm传感器・设备组合单元
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