数显模拟／标准型模拟／高功能型SR4附件・选件■螺距■精确调整固定架内的镜片■尺寸和质量■规格●精确调整固定架内的镜片 准(0.5mm螺距)的MHS型为13mm。 如果交换0.5mm螺距产品的话，0.1mm螺距产品 的测量范围变得如图所示，测量范围的中央部 分可以共用。MHT、MHT-A、MHC-A型完全兼容。 轴调整装置的精细进给等。30705705054三丰公司秉承持续创新向客户提供最新技术体验的理念。因此保留对产品的技术规格进行变更的权利。规格如有变更，恕不另行通知。03测微头 注: 0.1mm螺距的MHS-A型的测量范围为6.5mm，标 ●可用于半导体装置工作台进给和光学用光 0-0.0090-0.009±20〜6.5■应用●半导体装置工作台进给和光学用光轴调整装置的 精细进给等●精确X-Y工作台定位SR441ø31ø5ø31ø5ø直柄型球面测量面带锁紧螺母型球面测量面锁紧螺母ナットM9.5×0.520100908020刻度: 3mm位置1009080固定螺钉止めねじ固定螺钉止めねじ20100908010504540型号测量范围(mm)0〜5ø9.59.5(17)23.5ø9.59.5(17)23.5●推荐固定装置厚度: 6mm148-143-10 MHS4-6.5FPA 球面测量面 质量: 34g货号■MHS-A、MHS安装位置比较直柄型带锁紧螺母型测量面分度特征最大允许误差JMPE (µm)球面 (SR4)标准球面 (SR3)球面 (SR1.5)单位: mm固定套管标记固定套管标记 ●通过测微螺杆螺距0.1mm的高精度螺纹加工技术，相对于标准型0.5mm螺距，实现1/5的精细进给。148-142-10MHS3-6.5FPA148-143-10MHS4-6.5FPA148-342-10MHC3-6.5CFPA148-343-10MHC4-6.5CFPA148-242-10MHT3-6.5FPA148-243-10MHT4-6.5FPA148-244148-245●测量面: 材质: 合金工具钢、硬度: 60HRC以上、磨光表面●读数部表面处理: 电镀硬铬可轻松交换。 ●外形形状与标准型(0.5mm螺距)具有互换性，0.0020.004MHT3-5FPMHT4-5FP148-142-10 MHS3-6.5FPA 质量: 31g分度值(mm)轴套直柄型带锁紧螺母型直柄型带锁紧螺母型直柄型带锁紧螺母型直柄型带锁紧螺母型3.531.5(38)3.531.5(38)±5( ): 测微螺杆完全缩进时的尺寸03-28螺距=0.1mm螺距=0.5mm测微头(操作范围)(操作范围)(55)20.59.53.53.5精细进给型(螺距: 0.1mm)刻度: 6.5mm位置6.56.59.5标准型(螺距 0.5mm)20.5(58.5)6.5133.5148系列 测微头(高功能型) MHS-A/MHC-A/MHT/MHT-A 精细进给(0.1 mm螺距)
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