接触式传感器非接触式传感器栅尺单元附件・选件传感器・设备组合单元在10mm宽范围内实现了与激光干涉仪相同的0.005µm或0.01µm的高分辨・测量范围: 10 mm/25 mm/50 mm・分辨力: 1 µm/0.5 µm/0.1 µm・测量范围: 10 mm・分辨力: 1 µm/0.5 µm/0.1 µm・测量范围: 10 mm・分辨力: 0.01 µm/0.005 µm・测量范围: 12.7 mm・分辨力: 10 µm带原点标记11Digimatic542系列耐环境型测微头 光栅式测微仪575系列分离式测微头 容栅式测微仪542系列耐环境型测微头 光栅式测微仪542系列分离式测微头 高精度光栅式测微仪沿袭了LG100系列的抗振性和抗冲击性，改进了机身尺寸。截面积约为LG100-110的1/5。配备了静电电容式绝对编码器，即使关闭电源也不会改变原点位置。备有可以高精度测量设备移动量和测量对象尺寸的接触式传感器，可以高精度测量圆柱形工件外形和间隙、对象工件表面结构等的非接触式传感器。可满足省空间、耐环境性、成本、精度等各方面的需求和用途。备有用于优化生产现场的产品阵容。适合在线和测量室使用的高精度测微头。保证整个测量范围内的重复性0.3 µm(2σ)和窄范围精度0.5 µm(任意20 µm的范围)。力和高精度。11-3接触式传感器(光栅式测微仪)LG200LGS-1012PLG100LGH实现高精度测量传感器・设备组合单元
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