(操作范围)■螺距数显模拟／标准型模拟／高功能型附件・选件 互换性，可轻松交换。 轴调整装置的精细进给等。( ): 测微螺杆完全缩进时的尺寸31ø5ø41ø31ø5ø ●外形形状与以前的标准型(0.5mm螺距)具有 ●可用于半导体装置工作台进给和光学用光 ●通过测微螺杆螺距0.1mm的高精度螺纹加工技术，相对于以前的0.5mm螺距，实现1/5的精细进给。JMPE (µm)(mm)■规格SR4■精确调整固定架内的镜片307057 40505(操作范围)SR4注: 0.1mm螺距的MHS-A型的测量范围为6.5mm，标 ●推荐固定装置厚度: 6mm148-143-10 MHS4-6.5FPA 球面测量面 质量: 34g 准(0.5mm螺距)的MHS型为13mm。 如果交换0.5mm螺距产品的话，0.1mm螺距产品 的测量范围变得如图所示，测量范围的中央部 分可以共用。MHT、MHT-A、MHC-A型完全兼容。刻度: 3mm位置201009080刻度: 6.5mm位置10504540201009080止めねじ止めねじMHT3-5FPMHT4-5FP148-142-10 MHS3-6.5FPA 质量: 31g■MHS-A、MHS安装位置比较148-142-10MHS3-6.5FPA148-143-10MHS4-6.5FPA148-342-10MHC3-6.5CFPA148-343-10MHC4-6.5CFPA148-242-10MHT3-6.5FPA148-243-10MHT4-6.5FPA148-244148-245●测量面: 材质: 合金工具钢、硬度: 60HRC以上、磨光表面●读数部表面处理: 电镀硬铬注: 测微头的最大承载质量参见03-41页。■尺寸和质量直柄型带锁紧螺母型货号3.5直柄型球面测量面带锁紧螺母型球面测量面20锁紧螺母型号测量范围1009080测微头■应用●半导体装置工作台进给和光学用光轴调整装置的 精细进给等●精确X-Y工作台定位●精确调整固定架内的镜片6.513固定螺钉固定螺钉测量面分度特征最大允许误差球面 (SR4)标准球面 (SR3)球面 (SR1.5)单位: mm固定套管标记固定套管标记螺距=0.1mm螺距=0.5mm(55)20.59.53.53.5精细螺纹测微头(螺距: 0.1mm)6.56.59.5标准型(测微螺杆间距 0.5mm)(58.5)20.5ナットM9.5×0.5ø9.509.5(17)23.5ø9.509.5(17)23.50〜6.50〜5-0.009-0.0090.0020.004分度值(mm)轴套直柄型带有锁紧螺母直柄型带有锁紧螺母直柄型带有锁紧螺母直柄型带有锁紧螺母3.531.5(38)3.531.5(38)03-28±2±5148系列 测微头(高功能型) MHS-A/MHC-A/MHT/MHT-A 精细进给(0.1 mm螺距)
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