■三坐标测量机的性能评价方法三坐标测量机的性能评价方法，2003年发布了ISO 10360系列的修订版，并于2009年进行了部分修订。包括修订内容在内的标准检查方法，如表所示。表1 ISO 10360系列； JIS B 7440 (2003)系列ISO规格■最大允许长度测量误差 E0,MPE [ISO 10360-2: 2009/JIS B 7440-2(2013)] 在这个标准下，按图1中的7个方向，各选定5个试验长度进行3次重复测量。从而可以得到105个含有长度测量不确定度的结果，如果它们都低于制造厂家的给出的规定值，那么三坐标测量机的性能就可以得到验证。OK/NG的结果需要考虑不确定度进行判断。可用如下三种形式任意一种表示试验的最大允许误差(标准值) (单位：µm)。图1 长度测量误差测量方向■长度测量重复性范围的最大允许界限 R0,MPL [ISO 10360-2: 2009/ JIS B 7440-2(2013)]重复性范围的最大允许界限 R0,MPL [ISO 10360-2: 2009]进行3次长度测量后，评价测量结果的波动。然后，计算重复性范围R0，如图3所示。■Z轴测针偏移150mm时最大允许长度测量误差/长度测量误差 E150,MPE [ISO 10360-2: 2009/JIS B 7440-2(2013)]ISO 10360-2: 2009/JIS B 7440-2(2013)中，在7个方向的长度测量的基础上，使测头偏移，对YZ面或XZ面2对角线长度测量。］mµ［差误*测头偏移默认为150mm。图2 Z轴测头偏移在150mm时的长度测量误差■最大允许径向四轴误差 MPEFR [ISO 10360-3: 2000/JIS B 7440-3(2003)] 最大允许切向四轴误差 MPEFT [ISO 10360-3: 2000/JIS B 7440-3(2003)] 最大允许轴向四轴误差 MPEFA [ISO 10360-3: 2000/JIS B 7440-3(2003)]在旋转工作台上像图4那样设置两个基准球，在0º及+方向上7处，–方向上7处，合计15个位置上旋转工作台，测量每个基准球的中心坐标。此时，如果基准球中心坐标的半径方向成份、切线方向成份、旋转轴轴方向成份各自的偏移(范围)+基准球形状的不确定度之和如果在规定值以下则为合格。图4 带旋转工作台的三坐标测量机的评价■最大允许扫描测量误差 MPETHP [ISO 10360-4: 2000/JIS B 7440-4(2003)]搭载扫描测头时的精度规格。扫描测量检测基准球的4个指定的截面，相对于使用4个截面所有测量点计算出的最小二乘法球中心，以使用所有测量点的存在范围(图5-A尺寸)和4个截面所有测量点计算出的最小二乘法球的中心为基准时，计算校正过的基准球半径值与最大测量点之间的距离，或者与最小测量点之间的距离中较大的值(图5-B尺寸)，上述各值分别加上“测针尖端形状的不确定度”和“检测用标准球形状的不确定度”合成的扩张不确定度的值，得出的值如果都在规定值以下则为合格。图5 最大允许扫描测量误差测量目标截面与评价的构思hA ZYXZYXZYXZ230NZrYABE0,MPE(MPEE)＝A+L/K≦BE0,MPE(MPEE)＝A+L/KE0,MPE(MPEE)＝BXh1200基准球B基准球AA ：生产厂家提供的常数(µm)K ：生产厂家提供的无量纲常数L ：测量的长度(mm)B ：生产厂家提供的规格的上限值(µm)。三坐标测量机篇ISO 10360-2: 2009/JIS B 7440-2(2013) 追加以下项目。1 术语2 测量长度*3 带旋转工作台的三坐标测量机4 扫描测量5单测针及多测针测量**6软件检查*ISO:2009年修订；JIS: 2013年修订**ISO:2010年修订；JIS:2013修订* ISO 10360-2：2001/JIS B 7440-2(2003)规定测量位置为任何的7个方向， ISO 10360-2：2009/JIS B 7440-2(2013)规定必须包括空间内的4个方向，内容推荐测量位置与各轴相平行。Scan plane 2Scan plane 1测针最小二乘球测量点JIS规格JIS标准 X or Y軸150mmX or Y軸N-19ISO标准 ISO 10360-1ISO 10360-2ISO 10360-3ISO 10360-4ISO 10360-5ISO 10360-6时间20002009200020002010200145ºScan plane 3Scan plane 4hB时间JIS B 7440-1(2003) 2003/3JIS B 7440-2(2013) 2013/10JIS B 7440-3(2003) 2003/3JIS B 7440-4(2003) 2003/3JIS B 7440-5(2013) 2013/10JIS B 7440-6(2004)2004/36.04.02.00.0-2.0-4.0-6.0600测量长度［mm］图3 长度测量的重复性范围400R0规格值800基准球直径校正值最小二乘球中心长度测量误差 3（Z）长度测量误差 6长度测量误差 2（Y）长度测量误差 1（X）长度测量误差 5长度测量误差 4长度测量误差 7150mm精密量仪 • 量具的小知识
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