%数系输传 一个指定平面与实际表面相交所得的轮廓。表1 测量非周期性轮廓参数(Ra, Rq, Rsk, Rku, Rq)，支撑长度率曲线，概率密度函数以及相关参数的粗糙度取样长度。 测量非周期性轮廓参数(Rz, Rv, Rp, Rc, Rt)的粗糙度取样长度。 测量周期性轮廓的R参数及周期性和非周期性轮廓的Rsm值的粗糙度取样长度注1： 对于Ra>0.5µm或Rz>3µm的表面，通常可以使用rtip= 5µm的测针，在测量结果注2： 当截止波长λs为8µm和25µm时，几乎可以肯定，因具有推荐针尖半径的触针机械滤波所致的衰减特性将位于定义的传输带之外。既然如此，在触针半径或在形状上的微小变化对在测量轮廓上计算的参数值的影响将是可以忽略的。 如果认为其他截止波长比率是满足应用所必须的，则必须指定这个截止波长比率。mmmmmm L 是否否是 触针在被测表面的横切面内针尖中心点的轨迹。 轮廓轨迹相对于基准轮廓的数字表示形式。←测量←模/数转换图1: 决定非周期性轮廓取样长度的步骤(未指定取样长度时)图2: 决定周期性轮廓取样长度的步骤(未指定取样长度时)■ ISO 4287:1997 (等同GB/T3505-2009)产品几何技术规范(GPS)表面结构：轮廓法-术语、定义及表面参数 ■ ISO 4288:1996 (等同GB/T10610-2009)产品几何技术规范(GPS)表面结构：轮廓法-评定表面结构的规则和方法■ ISO 3274:1996 (等同GB/T6062-2009)产品几何技术规范(GPS)表面结构：轮廓法-接触(触针)式仪器的标称特性■ ISO 11562:1996 (等同GB/T18777-2009)产品几何技术规范(GPS)表面结构：轮廓法-相位修正滤波器的计量特性触针式表面粗糙度测量仪的构成 表2 表3 0 µR 1R 10 µR 5 µR 5 µR 2 µR 2 µ垂直轮廓输出测头轨迹轮廓表面针尖半径转换器放大器测量环导轨(导头)基准轮廓外部干扰水平移动驱动器 对于特殊结构测头(包括一个可更换触针)，在中间位置静态测力的最大值为4.0mN输入/输出输入/输出模/数转换器轮廓滤波器原始轮廓总轮廓去除标称形状符合 ISO 4287分析系统中没有明显差别。立柱测量环测头(传感器)触针工件紧固夹具底座驱动器注1 实际表面的表面轮廓轨迹轮廓总轮廓截止波长λs的低通滤波器 λs原始轮廓原始轮廓参数截止波长λc的高通滤波器截止波长λc 与λf之间的波长通过的带通滤波器粗糙度轮廓粗糙度轮廓参数λs静态测力变化率的公差mN /µm 0.035 0.2 触针形状理想的触针形状是一个具有球形针尖的圆锥形。针尖半径：rtip = 2µm, 5µm, 10µm圆锥角：60º, 90º对于“理想”仪器，如果没有其他规定，圆锥角为60º。60°60°90°90°静态测力(JIS B 0651)µm2510mN 0.75 0.75 (4.0) (注1)不产生导致非对称轮廓变形的相位移的轮廓滤波器。相位修正轮廓滤波器的加权函数符合正态(高斯)分布，其中在截止波长处的幅值传输率为50%。相位修正滤波器的计量特征数据处理流程原始轮廓测量非周期性轮廓的粗糙度取样长度Ra，Rz，Rz1max或RSm的数值 Rz1max., 或RSm一次预测量针尖的标称曲率半径触针在中间位置时的静态测力定义： 定义： 定义： 使用最小二乘法可抑制不相关的表面几何形状，例如平面特征的倾斜度和圆柱特征的曲率。波纹度轮廓波纹度轮廓参数截止波长值与针尖半径之间的关系粗糙度截止波长λc, 针尖半径rtip和粗糙度截止波长比率λc/λs之间的关系见下表λc mm0.08 0.25 0.8 2.5 8 60°90°原始轮廓通过λs轮廓滤波器的总轮廓。粗糙度轮廓粗糙度轮廓是对原始轮廓采用λc轮廓滤波器抑制长波成分以后形成的轮廓。波纹度轮廓波纹度轮廓是对原始轮廓连续采用λf和λc两个滤波器以后形成的轮廓。采用λf轮廓滤波器抑制长波成分，而采用λc轮廓滤波器抑制短波成分。最大采样长度间隔最大rtip粗糙度轮廓波纹度轮廓L-17L-17ISO 3274 : 1996 (JIS B 0651: 2001)表面轮廓ISO 11562 : 1996(JIS B 0632: 2001)λsµm 2.5 2.5 2.5825λc /λs µm 2 2 2 (注1) 5 (注2)10 (注2)30100300300300ISO 4287 : 1997 (JIS B 0601: 2013)Ra µm (0.006)
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