■适用 ■检测原理Z轴...①②mm61mm01mm5mm59mm2mm56mm20(0.25+L/1000)µm(0.8+2L/1000)µmX×Y轴E1X / E1YE1ZUMAP 101/103/107UMAP 110/130细微形状测量系统影像测量机使用最小直径15µm的极小测针实现细微形状的接触测量产品样本 No.C14000(4) ■规格测量示例φ0.125mm内径形状测量* 根据本公司检查方法，L为任意两点间的尺寸(mm)。● 超声波细微测头UMAP 实现常规影像测量仪或CMM都难以测量的极小孔直径、截面或轮廓的接触式测量。同时，在一台机器上可进行高精度、复杂、非接触式以及接触式测量。1µN的最小测量力使工件表面不易划伤，可测量易变形工件。项目测量范围 (影像、UMAP通用)测量精度*(影像)重复性测针测针时间振幅减小时间型号测针测针测针参见UMAP Vision System(No.C14000)产品样本微型齿轮齿廓测量测杆公称直径ø9µmUMAP103 测杆公称直径ø53µm测杆公称直径ø24µmø70µmUMAP107 ø70µmø100µmK-9测杆公称直径ø80µmø100µmø300µmUMAP130 ø300µm① 如图，测针没有接触工件时，保持着微② 测针接触工件时，其振幅因工件的振动被束缚而减小，当减少到一定值时触发信号。测杆公称直径ø200µm小振幅下振动。细微测头UMAP振幅测针工件接触工件前的检测信号与工件接触振幅测针工件接触工件后的检测信号细微形状测量仪UMAP Vision System TYPE2ø15µmUMAP101ø30µmø15µmø30µmUMAP 101/103UMAP 107/110UMAP 130Hyper UMAP 302185×200mmσ=0.1µmσ=0.15µmUMAP110 TYPE2ULTRA UMAP 404285×400mm175mm180mm185mm(1.5+2L/1000)µmσ=0.08µmσ=0.12µm
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