■适用●实现测量精度E1XY(0.25+2L/1000)µm的高精度CNC影像测量仪。(0.01µm)、高精度的低热膨胀玻璃标尺。●标配有使用测量仪主机温度传感器和工件 ■规格名称测量范围观察装置图像传感器光栅尺分辨力 型高精度3D测量系统。 表面形状分析/三维粗糙度分析。 还可根据3D数据，进行指定高度的尺寸测 量和截面形状测量。●可根据WLI光学系统获取的3D数据进行三维 (0.25+L/1000) µm (0.5+2L/1000) µm(1.5+2L/1000) µm (范围200mm)(1.0+2L/1000) µm (范围10~60mm)E1X/E1YE1ZE2XY影像测量机产品样本No.C14001(2)非接触式3D测量系统Hyper Quick Vision WLI系列■适用参见Quick Vision系列(No.C14001)产品样本 ■规格项目 型号测量范围(X×Y×Z)WLI光学测头装置视场(H×V)Z轴重复性影像光学测头装置观察装置图像传感器*1: WLI光学测头的可移动范围。*2: 根据本公司检查方法，L为任意两点间的尺寸(mm)。E1X/E1YE1Z (全行程)E1Z (50mm行程)*2E2XY追踪自动对焦装置*1: 根据本公司检查方法，L为任意两点间的尺寸(mm)。*2: 只在出厂检查时实施。●X, Y, Z各轴采用本公司开发的高分辨力●Y轴采用高刚性固定桥式移动工作台设计， ●Hyper QVWLI是QV配备白光干涉仪的复合 底座采用具热稳定性强的岩石平板。温度传感器的自动温度补偿功能。B&W CCD (1/2吋)0.01 µm5X镜头: 约0.64×0.48 mm/10X镜头: 约0.32×0.24 mm/25X镜头: 约0.13×0.10 mm/50X镜头: 约0.064×0.048 mm2σ≤ 0.08 µmB&W CCD (1/2吋)(0.8+2L/1000) µm (1.5+2L/1000) µm (1.4+3L/1000) µm 选配影像测量精度*1影像测量精度*2影像测量WLI测量*1K-6程控电动转塔 1X - 2X - 6X程控电动转塔1X-2X-6XULTRA QV 404400×400×200 mmHyper QVWLI 404400×400×240 mm315×400×240 mmHyper QVWLI 606600×650×220 mm515×650×220 mm高精度CNC影像测量仪ULTRA QV非接触3D测量系统Hyper QVWLIULTRA QV 404Hyper QVWLI 606Hyper QVWLI 302300×200×190 mm215×200×190 mm
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