■明视场照明和暗视场照明在明视场照明中,物镜将整个锥形光束聚焦在工件表面上。这是光学显微镜的正常观察模式。使用暗视场照明时,光锥的内部区域将被遮挡,从而仅通过斜角光线来照亮表面。暗视场照明非常适合检测表面划痕和污染。■复消色差物镜和消色差物镜复消色差物镜是校正三种颜色(红色、蓝色、黄色)的色差(颜色模糊)的透镜。消色差物镜是校正两种颜色(红色、蓝色)的色差的透镜。■数值孔径(NA)NA值很重要,因为它表示物镜的分辨能力。NA值越大,可见细节越高。NA值较大的透镜也可以收集更多的光,与NA值较小的透镜相比,通常可在焦深较窄的情况下提供更明亮的图像。 NA=n·Sinθ上述公式表明,NA取决于物镜前端和工件之间的介质折射率n(对于空气,n=1.0)以及可进入透镜的光线的最大锥半角θ。■分辨本领(R)两个图像点之间的最小可检测距离,表示分辨力极限。分辨能力(R)取决于数值孔径(NA)和照明波长(λ)。λ=0.55µm 通常用作参考波长R =■放大倍率光学系统产生的放大对象图像与该对象的尺寸比率。放大倍率通常为横向放大倍率,尽管也可以表示横向、垂直或角度放大倍率。■主光线从光轴外的物点发出并穿过透镜系统中的孔径光圈的中心的光线。■工作距离(W.D)显微镜物镜的前端与工件表面之间的距离,在该距离下可实现最清晰的对焦。■孔径光圈用于控制穿过透镜系统的光量的可调圆形光圈。它也被称为孔径光阑,其大小会影响图像亮度和焦深。■视场光阑用于控制光学仪器视场的光阑。■齐焦距离对准交点时,试样表面到物镜定位面的距离。■无限远校正光学系统物镜在无限远处形成其图像并通过在物镜与目镜之间的主镜筒中设置镜筒透镜来形成中间图像的光学系统。在穿过物镜后,与光轴平行的光线通过所谓的“无限空间”有效地传播至镜筒透镜,可在无限空间中放置辅助组件。■远心系统光线与物和(或者)像空间的光轴平行的光学系统。这意味着放大倍率在整个工作距离范围内几乎恒定,因此几乎消除了透视误差。■有限校正光学系统使用物镜在有限位置形成中间图像的光学系统。穿过物镜的工件光抵达中间图像平面(位于目镜的前焦平面上)并会聚在该平面上。■视场数(FN)、实际视场和显视器显示放大倍率样品表面的观察范围取决于目镜的视场光阑直径。该直径的值(以毫米为单位)被称为视场数。相比之下,实际视场是实际放大并用物镜观察时工件表面上的范围。可通过以下公式计算实际视场:(1) 显微镜可观察的工件范围(直径)■焦距(f)从镜头主点到焦点的距离:如果f1表示物镜焦距,f2表示成像(镜筒)透镜的焦距,则放大倍率取决于两者之间的比率。(在无限校正光学系统的情况下。)物镜放大倍率 = 成像(镜筒)透镜的焦距 物镜焦距(例)1× = 200(mm)200(mm) (例)10× = 200(mm) 20(mm) J1 (2) 显示器观察范围■焦点平行于会聚透镜系统的主光轴传播并通过该系统的光线将会聚(或聚焦)在轴上的某个点上,该点被称为后焦点或图像焦点。■焦深(DOF)单位:mm这是两个平面之间的距离(沿光轴方向测量),该距离定义了将显微镜聚焦在物体上时可接受的图像清晰度的极限。随着数值孔径(NA)的增加,焦深变浅,如以下表达式所示: DOF = λ λ = 0.55µm (基准波长) 2 • (NA)2 (例) 对于M Plan Apo100X透镜NA是0.7(3) 显示器显示放大倍率显示器放大倍率 = 物镜放大倍率 x 显示器上显示的对角线长度(mm) 相机图像传感器的对角线长度(mm)λ2・NA显微镜篇物方焦点工件上的点光源齐焦距离物镜 成像(管)透镜 物镜放大倍率 = f2/f1无限空间物镜 倍率工作距离像方焦点点光源的光聚焦在中间像平面上■正立像上下左右方向以及移动方向与工作台上的工件方向相同的图像。1/3吋型1/2吋型2/3吋型对角线长度规格 该物镜的焦深为 0.55 (µm) = 0.6 (µm) 2×0.72视场(mm) = 目镜FN 物镜放大倍率示例:1X透镜的实际视场为24(mm) = 10X透镜的实际视场为2.4(mm) = 24 (mm) 显示器观察范围(mm) = 相机图像传感器的尺寸(长度×高度) 物镜放大倍率图像传感器尺寸长度4.86.48.8 10J-16 6.0 8.011.0 24 (mm) 高度3.64.86.6单位mm(µm)f1f2精密量仪 • 量具的小知识
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