■直线栅尺精度示值误差 直线栅尺的精度是通过使用如下所示的精度检查设备将直线栅尺的测量值与激光测长仪的基准值进行定期比较而确定的。检查环境为20ºC，直线栅尺精度为该环境温度下。另外，检查条件，规格值是依据公司内部标准检测。■绝对系统是指与当前测量时的坐标值无关，从固定的原点开始测量的测量系统。■增量系统是测量与紧接前一测量位置的位移量的测量系统。■原点偏置该功能可以将坐标系的原点移动至某一点上。这时需要记忆永久的原点。■原点复位利用机器上安装的限位开关，一边减速，一边使各轴精确地停止在机器固有的位置上的功能。■顺序控制按照预先设定的顺序控制每个阶段的动作。■数控由相应的数控命令，控制刀具相对于工件的位置。■二进制输出是指二进制形式(0和1)的数据，表示数字2的整数幂的输出。(20、21、22、23、…)①误差的最大值和最小值范围的大小用a表示。a是示值误差。该规格值用计算公式(α+βL)µm表示。 这里，L是有效长度(mm)，α和β是为每个型号设置的系数。例如，在示值误差规格值为(3+3L/1000)µm，有效长度为1000mm的直线栅尺上，a为6µm。■线路驱动器输出特点是工作速度快至数十到数百纳秒，传送距离长至数百米。在栅尺系统中，NC控制器的I/F上使用差动电压线路驱动(RS422A兼容)。X测量位置②误差的最大值和最小值的范围大小用±a/2表示。最大和最小误差的中心值设为0，最大值表示为+a/2，最小值表示为-a/2，误差范围的大小表示为±a/2。这种表示法主要适用于敞开式直线栅尺。X测量位置ε误差0■示值误差这里是指在20˚C时，全范围内直线栅尺上任意一点的指示值与真实值的最大误差。由于没有为标尺装置定义的国际标准，每个制造商都有表示精度的特定方法。 我们目录中给出的精度规格是使用激光干涉测量法确定的。■窄范围精度栅尺装置上栅格通常采用20µm的间距，但根据标尺的种类而有所不同。窄范围精度是指在分辨力极限(例如1µm)下，测量每个栅格间距所确定的示值误差。Hε0a2 a2±术语解说直线栅尺篇■RS-232C为了近距离传送装置之间进行数据交换的串行通信接口的一种，是1969年在美国的EIA制定的规则。是主要用于计算机与外部设备连接的通信手段。■BCD用4位二进制数来表示一位十进制数中的0-9这10个数的方式。数据为单方向输出，输出形态为TTL 或者开路集电极。■RS-422平衡型的接口规格。平衡型是指往返完全对称的构造。RS-422的传送性能优良，电源使用+5V单相电源即可，这也是其优点之一。栅尺上每个点的精度是根据使用以下公式计算的误差值定义的：误差=激光测长器的基准值 – 直线栅尺的测量值在这里，用“精度”或者“误差”的表示具有相同的意义。把有效长度上各测量点的误差绘制成图形，也称作实际误差曲线图。以实际误差曲线图为基础，在误差最大值和最小值的范围内标记光栅尺的示值误差。标记方法有如下2种情况。对于①②的表示，①的a，和②的±a/2是同一示值误差的规格值。直线栅尺可以检测出有一定间距刻度的直线栅尺为基准的移动量和位移量。通过刻度检测，可以得到和刻度相同间距的二相正弦波信号，把它们内插在电路中，可以读取比直线栅尺的刻度更细小的读数。内插是插补二相正弦波，分割相当分辨力的脉冲信号。例如，刻度间距为20µm的时候，可以读取1µm分辨力的读数。在这里，根据这个内插处理的准确性，在刻度间距范围内会产生误差。这个称为细分误差。直线栅尺示值误差的规格值是，在上述一定间隔内的包含检查误差和细分误差在内的对象。误差激光测长仪计数器激光源 误差图有效范围计算机光波干涉仪激光束光轴有效范围数码计数器 立方角固定装置栅尺单元移动台示值误差：± （µm）精度检查系统概略图H-20H-20示值误差：a（µm）精密量仪 • 量具的小知识
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