■适用度长筒套夹装时装安垫脚胶橡时装安架台度长程行 ●也具有低测力规格产品:根据用途可以选择低测力规格,可以测量易变形工件和高性能胶片等。 ●LGH系列是与专用计数器的组合规格。 ●在10mm的宽范围内实现了与激光干涉仪相同的0.005µm或0.01µm的高分辨力和高精度。 ●紧凑型的机身使得装置本身小型化,不仅可以作为高精度部件的测量以及高精度定位·控制装置长度测量的传感器,还适用于作为各种测量机的标准规。 ● 装配新开发的超高精度透射型线性编码器,实现0.005µm(5nm)的高分辨力。 ● 在测量范围10mm的宽范围内实现了示值误差0.1µm。适用于标准规的校正·赋值,以及用于测量机的基准器。 ● 新型号采用光电式反射型线性编码器,在低价格下实现了0.01µm高分辨率,示值误差0.2µm,测量范围10mm的宽范围。● 响应速度与以往产品相比提高了2.8倍(250mm/s⇒700mm/s),兼顾了高精度。42ø围范量测大最5()053(072080015271〜43●I/O输出接口: No.02ADB440●SENSORPAK ■外观尺寸542-715DC/542-716DCLGH-1010-B-EH/LGH-1010C-B-EH)mm731〜00520101-HGL : ).)(()(..)......)(...577318628415895414184ø401ø583841( 52791572112750190652335601ø50约10°-0.011 ■使用示例标准规校准·赋值检查高精度部件测微头专用计数器(37.6)(25)*R20ø15h6 0 安装用(装夹套筒直径)18542-716DC(低测力型)LGH-1010C-B-EH不带橡胶套管401020542-715DC(标准型)LGH-1010-B-EHLGH-1010-B-EH* 针形测头安装示例542-720DC/542-721DCLGH-0510-B-EH/LGH-0510C-B-EH测微头19.41381441020542-720DC(标准型)LGH-0510-B-EH156(台架安装时)固定电源线(台架安装时的倾斜角度)G-9(542-715DC及542-720DC备用)542-715DCLGH-1010-B-EH542-720DCLGH-0510-B-EH ■附件(选件)●测量台架: No.971750 测量工作台: 台架* 详细信息参见G-16页●阻尼提升线缆: No.971753单位: mm●橡胶套管: No.238772 电缆Assy(2m)连接器连接(可拆卸)提升线缆硬质合金测头Sø3No.90131245.4ø15h6 0-0.011(装夹套筒直径)18542-721DC(低测力型)LGH-0510C-B-EH不带橡胶套管40电缆(2m)提升线缆安装部硬质合金测头SR5No.120058用于测微仪安装ø15H7返回速度调节旋钮3001105044312(行程)542系列 高精度光栅式测微仪LGH (0.01µm分辨力、0.005µm分辨力)
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