●从量块No.1到No.5，每个阶差的高度逐渐降低。 ●使用干涉仪测量相邻阶差(在检查成绩书中以0.01µm为单位列出)。相邻阶差值精度为±0.20µm。 ●可选用钢制型或陶瓷型。 ●高度差由相邻阶差的中心测得。 ■规格钢制型R0.2以度高大最54704450340023001051841731521010547044503400230010518417315210106251 516-198, 516-498 10µm 516-199, 516-499 300µm ■尺寸■适用量块号相邻阶差阶差放大显示52211 6)(内相邻量块阶差值 (µm)陶瓷型相邻量块阶差值 (µm)5○○○-○○○-24: 附有JCSS校准证书(英文)1010单位: mmE-2530010050300100502020钢制型516-199货号 量块号累积阶差 (µm)货号 量块号累积阶差 (µm)516-198516-498陶瓷型516-499516-199516-499Step value between adjacent blocks 1 2 3 4 5 300 100 50 20 µm 1 2 3 4 5 7 7 7 7 7 45 No. 1 - 2 No. 2 - 3 No. 3 - 4 No. 4 - 5 5µm 100µm 2µm 50µm 1µm 20µm 516系列 阶差规
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