...①②E1X / E1YE1ZUMAP101/103/107UMAP110/130● 超声波微细测头UMAP 实现常规影像测量机或CMM都难以测量的极小孔直径、截面或轮廓的接触式测量。同时,在一台机器上可进行高精度、复杂、非接触式以及接触式测量。1µN的最小测量力使工作表面不易划伤,可测量易变形工件。Z轴mm61mm01mm5mm59mm2mm56mm20σ=0.08µmσ=0.12µm(0.25+L/1000)µmX×Y轴产品样本 No.C14000(4)使用最小直径15µm的极小测针实现细微形状的接触测量细微形状测量系统影像测量机ø15µmUMAP101ø30µmø15µmø30µmUMAP101/103UMAP107/110UMAP130Hyper UMAP302185×200mm(0.8+2L/1000)µmσ=0.1µmσ=0.15µmUMAP110 TYPE2ULTRA UMAP404285×400mm175mm180mm185mm(1.5+2L/1000)µm ■检测原理 ■规格测量示例φ0.125mm内径形状测量工件工件项目测量范围 (影像、UMAP通用)测量精度(影像)重复性测针测针时间时间型号测针测针测针参见UMAP Vision System(No.C14000)产品样本微型齿轮齿廓测量附带测量数据输出功能的产品可连接到测量数据网络系统MeasurLink(详细信息参见A-5页)。测量仪器附带检查成绩书 详细信息参见U-13页测杆标称直径ø9µmUMAP103 测杆标称直径ø53µm测杆标称直径ø24µmø70µmUMAP107 ø70µmø100µm① 如图,测针没有接触工件时,保持着微② 测针接触工件时,其振幅因工件的振动被束缚而减小,当减少到一定值时触发信号。K-9测杆标称直径ø80µmø100µmø300µmUMAP130 ø300µm测杆标称直径ø200µm小振幅下振动。微细测头UMAP振幅测针接触工件前的检测信号与工件接触振幅振幅减小测针接触工件后的检测信号UMAP Vision System TYPE2微细形状测量系统
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