①误差的最大值和最小值范围的大小用a表示。a是示值误差。该规格值用计算公式(α+βL)µm表示。 这里，L是有效长度(mm)，α和β是为每个型号设置的系数。例如，在示值误差规格值为(3+3L/1000)µm，有效长度为1000mm的直线栅尺上，a为6µm。X测量位置②误差的最大值和最小值的范围大小用±a/2表示。最大和最小误差的中心值设为0，最大值表示为+a/2，最小值表示为-a/2，误差范围的大小表示为±a/2 . 这种表示法主要适用于敞开式直线栅尺。X测量位置ε误差0Hε0a2 a2±示值误差：± （µm）示值误差：a（µm）直线栅尺精度三丰公司秉承持续创新向客户提供最新技术体验的理念。因此保留对产品的技术规格进行变更的权利。规格如有变更，恕不另行通知。精度检查系统概略图栅尺上每个点的精度是根据使用以下公式计算的误差值定义的：误差=激光测长器的基准值 – 直线栅尺的测量值在这里，用“精度”或者“误差”的表示具有相同的意义。把有效长度上各测量点的误差绘制成图形，也称作实际误差曲线图。以实际误差曲线图为基础，在误差最大值和最小值的范围内标记光栅尺的示值误差。标记方法有如下2种情况。对于①②的表示，①的a，和②的±a/2是同一示值误差的规格值。直线栅尺可以检测出有一定间距刻度的直线栅尺为基准的移动量和位移量。通过刻度检测，可以得到和刻度相同间距的二相正弦波信号，把它们内插在电路中，可以读取比直线栅尺的刻度更细小的读数。内插是插补二相正弦波，分割相当分辨力的脉冲信号。例如，刻度间距为20µm的时候，可以读取1µm分辨力的读数。在这里，根据这个内插处理的准确性，在刻度间距范围内会产生误差。这个称为细分误差。直线栅尺示值误差的规格值是，在上述一定间隔内的包含检查误差和细分误差在内的对象。示值误差直线栅尺的精度是通过使用如下所示的精度检查设备将直线栅尺的测量值与激光测长仪的基准值进行定期比较而确定的。检查环境为20ºC，直线栅尺精度为该环境温度下。另外，检查条件，规格值是依据公司内部标准检测。激光测长仪计数器激光源 计算机光波干涉仪有效定位范围固定装置栅尺单元移动台误差图有效定位范围数码计数器 激光束光轴立方角误差H-22
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