N-19N图5 最大允许扫描测量误差测量目标截面与评价的构思测针Scan plane 2Scan plane 1Scan plane 4Scan plane 345º基准球直径校正值最小二乘球最小二乘球中心AB测量点最大允许扫描测量误差 MPETHP [ISO 10360-4: 2000/JIS B 7440-4(2003)]搭载扫描探针时的精度规格。扫描测量检测基准球的4个指定的截面，相对于使用4个截面所有测量点计算出的最小二乘法球中心，以使用所有测量点的存在范围(图5-A尺寸)和4个截面所有测量点计算出的最小二乘法球的中心为基准时，计算校正过的基准球半径值与最大测量点之间的距离，或者与最小测量点之间的距离中较大的值(图5-B尺寸)，上述各值分别加上“测针头形状的不确定度”和“检测用标准球形状的不确定度”合成的扩张不确定度的值，得出的值如果都在规定值以下则为合格。最大允许旋转径向误差 MPEFR [ISO 10360-3: 2000/JIS B 7440-3(2003)]最大允许旋转轴切向误差 MPEFT [ISO 10360-3: 2000/JIS B 7440-3(2003)]最大允许旋转轴轴向误差 MPEFA [ISO 10360-3: 2000/JIS B 7440-3(2003)]在旋转工作台上像图4那样设置两个基准球，在0º及+方向上7处，–方向上7处，合计15个位置上旋转工作台，测量每个基准球的中心坐标。此时，如果基准球中心坐标的半径方向成份、切线方向成份、旋转轴轴方向成份各自的偏移(范围)+基准球形状的不确定度之和如果在规定值以下则为合格。图4 带旋转工作台的三坐标测量机的评价YrXhhAhB基准球BZ基准球A*测头偏移默认为150mm。最大允许长度测量误差、Z轴测针偏移150mm时长度测量误差E150,MPE [ISO 10360-2: 2009/JIS B 7440-2(2013)]长度测量重复范围的最大允许界限 R0,MPL [ISO 10360-2: 2009/ JIS B 7440-2(2013)]重复范围的最大允许界限 R0，MPL [ISO 10360-2: 2009]进行3次长度测量后，评价测量结果的波动。然后，计算重复范围R0，如图3所示。图2 Z轴测头偏移在150mm时的长度测量误差6.04.02.00.0-2.0-4.0-6.00123R0200400测量长度［mm］误差［µm］600800规格值图3 长度测量的重复范围长度测量误差 3（Z）长度测量误差 4长度测量误差 7长度测量误差 5长度测量误差 6长度测量误差 1（X）长度测量误差 2（Y）ZYXZYX图1 长度测量误差测量方向ISO 10360-2: 2009/JIS B 7440-2(2013) 追加以下项目。* ISO 10360-2：2001/ JIS B 7440-2(2003)规定测量位置为任何的7个方向， ISO 10360-2：2009/JIS B 7440-2(2013)规定必须包括空间内的4个方向，推荐测量位置与各轴相平行。A ：生产厂家提供的常数(µm)K ：生产厂家提供的无因次常数L ：测量的长度(mm)B ：生产厂家提供的规格的上限值(µm)。E0,MPE(MPEE)＝A+L/K≦BE0,MPE(MPEE)＝A+L/KE0,MPE(MPEE)＝B最大允许示值误差 E0,MPE [ISO 10360-2: 2009/JIS B 7440-2(2013)] 在这个标准下，按图1中的7个方向，各选定5个试验长度进行3次重复测量。从而可以得到105个含有长度测量不确定性的结果，如果它们都低于制造厂家的给出的规定值，那么三坐标测量机的性能就可以得到验证。OK/NG的结果需要考虑不确定性进行判断。可用如下三种形式任意一种表示试验的最大允许误差(标准值) (单位：µm)。ISO 10360-2: 2009/JIS B 7440-2(2013)中，在7个方向的长度测量的基础上，使探头偏移，对YZ面或XZ面对角进行2根长度测量。ZX or Y軸150mm150mmX or Y軸ZXY三坐标测量机篇精密量仪 • 量具的小知识三坐标测量机的性能评价方法三坐标测量机的性能评价方法，2003年发布了ISO 10360系列的修订版，并于2009年进行了部分修订。包括修订内容在内的标准检查方法，如表所示。表1 ISO 10360系列； JIS B 7440 (2003)系列内容ISO规格JIS规格ISO标准 时间JIS标准 时间1 用语ISO 10360-12000JIS B 7440-1(2003) 2003/32 测量长度*ISO 10360-22009JIS B 7440-2(2013) 2013/103 带旋转工作台的三坐标测量机ISO 10360-32000JIS B 7440-3(2003) 2003/34 扫描测量ISO 10360-42000JIS B 7440-4(2003) 2003/35单测头及多测头测量**ISO 10360-52010JIS B 7440-5(2013) 2013/106软件检查ISO 10360-62001JIS B 7440-6(2004)2004/3*ISO:2009年修订；JIS: 2013年修订**ISO:2010年修订；JIS:2013修订
元のページ ../index.html#580