L-16L 三丰公司秉承持续创新向客户提供最新技术体验的理念。因此保留对产品的技术规格进行变更的权利。规格如有变更，恕不另行通知。Formtracer Extreme (超级表面粗糙度/轮廓测量装置)CS-5000CNC/CS-H5000CNC525系列 — CNC 表面粗糙度和轮廓测量系统应用动态控制技术的宽范围检出器CS-H5000CNC(带Y轴工作台)●高精度测针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。●X1轴和Z2轴的最大驱动速度分别为40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。●X1轴和Z1轴上装有三丰激光全息光栅尺，从而可以实现高分辨力的轮廓/ 形状测量、表面粗糙度的批量测量。●Z1轴检出器采用主动控制方式，减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。●Z1轴检出器集成了防碰撞安全装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。●CS-5000CNC带有α轴，可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。●带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。●可选的外部控制功能(外部I/O)，与PLC实现双向通信(RS-232C)。■规格型号CS-5000CNCCS-H5000CNCX1轴测量范围200mm分辨力0.00625µm长度基准激光全息光栅尺驱动速度CNC型最大40mm/s操纵杆0 - 40mm/s测量速度0.02, 0.05, 0.1, 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0mm/s (形状/轮廓)测量方向向前/向后 直线度(使用标准测针)(0.1+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm)(0.05+0.0003L)µm L: 驱动长度 (mm)(使用二倍长型测针)(0.2+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm) (0.1+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm)精度 (20ºC)±(0.3+0.002L)µm L: 驱动长度 (mm)±(0.16+0.001L)µm L: 驱动长度 (mm)α轴倾角范围-45º(CCW), +10º(CW)—Z1轴(检出器)测量范围(使用标准测针)12mm(使用二倍长型测针)24mm分辨力(使用标准测针)0.0008µm(使用二倍长型测针)0.0016µm测针针尖垂直运动弧形移动长度基准透射型光栅尺精度 (20ºC)±(0.3+|0.02H|)µm H: 测量高度 (mm)±(0.07+|0.02H|)µm H: 测量高度 (mm)测力(使用标准测针)4mN (固定)(使用二倍长型测针)0.75mN (固定)跟踪角度向上: 60º, 向下: 60º, (根据表面粗糙度)测针针尖形状标准测针针尖角度: 40º, 针尖半径: 5µm, 金刚石针尖标准球头测针球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石2倍测针针尖角度: 40º, 针尖半径: 5µm, 金刚石针尖2倍测针—针尖角度: 60º, 针尖半径: 2µm, 金刚石针尖2倍球头测针球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石测针方向向下Z2轴(立柱)行程范围Z2轴 (立柱, S型)300mmZ2轴 (立柱, H型)500mm—分辨力0.05µm长度基准反射型光栅尺驱动速度CNC型最大200mm/s操纵杆0 - 50mm/s基座尺寸 (W×D)750×600mm基座材料花岗岩注:虽然天然石材测量桌的外观各有不同，但材料的稳定性是值得信赖的。附带测量数据输出功能的产品可连接到测量数据网络系统MeasurLink(详细信息参见A-17页)。测量仪器附带检查成绩书 详细信息参见 U-12页
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