LL-9 三丰公司秉承持续创新向客户提供最新技术体验的理念。因此保留对产品的技术规格进行变更的权利。规格如有变更，恕不另行通知。Surftest表面粗糙度测量仪精密量仪 • 量具的小知识■ ISO 1302: 2002 产品几何技术规范 (GPS) –轮廓法–术语、定义及表面纹理参数 ■ ISO 4287: 1997 产品几何技术规范 (GPS) –表面形状: 轮廓法–位相补偿滤波器的特征■ ISO 4288: 1996 产品几何技术规范 (GPS) –表面形状: 轮廓法–表面纹理的评价的规则和程序■ ISO 3274: 1996 产品几何技术规范 (GPS) –表面形状: 轮廓法–接触(测针式)测量仪的标称特性测针式转换器测量轮廓测针针尖基准轮廓导头抑制标称形状断面轮廓AD转换器轮廓滤波器λsISO 4287为依据进行参数评价放大器进给装置工件表面测量环外部干扰驱动装置Z轴信号传送器输入/输出输入/输出总轮廓实际表面的表面轮廓测量轮廓测量断面轮廓断面轮廓断面轮廓参数粗糙度轮廓波纹轮廓粗糙度轮廓参数波纹轮廓参数截止波长λs的低通滤波器 λs截止波长λc的高通滤波器带通滤波器中，截止波长λc 与λf之间的通过数据 测量AD 转换ISO 3274: 1996 (JIS B 0651: 2001)(JISB0651)60°60°60°90°90°90°R2µmR5µmR10µmR2µmR5µmR10µm测针尖端曲率标称半径: µm测针尖端在平均位置的静态测量力: mN静态测量力变化的公差率: mN/µm25100.75 0.75 (4.0) 注 10.0350.2 最大取样间隔µmλcmmλsµmλc/λs最大 rtipµm注1 注2 注2 0.08 0.25 0.8 2.5 8 2.5 2.5 2.5 8 25 0.5 0.5 0.5 1.5 5 30 100 300 300 300 2 2 2 5 10JIS B 0601:2013 (ISO 4287:1997)50100λsλcλf振幅传输 %波长粗糙度轮廓波纹轮廓Rp基准长度ISO 4287: 1997, Amd.1: 2009基准长度RvZp基准长度RzZvmmPc, Rc, Wc = Ztii=11基准长度Zt1Zt2Zt3Zt4Zt5Zt6评价长度基准长度RtΣ主轮廓立柱测针工装夹具基座驱动装置测量环检出器(传感)工件接触式表面粗糙度测量仪的特征 数据处理流程轮廓类型参数定义测针形状理想的测针形状是圆锥型，尖端为球形尖端半径：rtip = 2µm, 5µm, 10µm圆锥角度：60º, 90º在理想表面粗糙度测量中，除特别规定以外，每个圆锥角的角度都是 60º截止波长值与测针尖端半径之间的关系在下边的表中，列出了粗糙度轮廓截止波长λc, 测头尖端半径rtip还有截止波长比率λc/λs之间的关系静态测量力纵方向参数(波峰波谷)断面轮廓最大峰值 Pp粗糙度轮廓最大峰值 Rp波纹轮廓最高峰 Wp基准长度中的轮廓的最大峰值 Zp断面轮廓最大谷值 Pv粗糙度轮廓最大谷值 Rv波纹轮廓最大谷值 Wv基准长度中的轮廓的最大谷值 Zv断面轮廓平均高度 Pc粗糙度轮廓平均高度 Rc波纹轮廓平均高度 Wc基准长度中的轮廓元素的品质平均值 Zt断面轮廓总高度 Pt粗糙度轮廓总高度 Rt波纹轮廓总高度 Wt评价长度中的最大波峰高度 Zp 和最大波谷深度 Zv 的总和断面轮廓最大高度 Pz粗糙度轮廓最大高度 Rz波纹轮廓最大高度 Wz基准长度中轮廓的最大峰值 Zp 和最大谷值 Zv 的高度总和在旧的 JIS 和 ISO 4287-1: 1984中，Rz 是用来标注 "ten point height of irregularities" (10点高度不规则运动)。必须要注意现在的标准和旧标准的不同之处。(要注意绘图说明是遵循现在的标准还是旧的标准)注1 对于特殊结构探测器 (包括一个可更换测头)，在平均位置静态测量力的最大值为4.0mN。注1： 如果表面处于Ra>0.5µm或Rz>3µm，的条件之下，测量结果通常不会发生明显的误差，甚至当测针式半径= 5µm时也一样。注2： 当边界值s是2.5µm或8µm时，与推荐测针式半径相同的测针式的机械滤波效果所产生的衰减特性超出了规定的滤波带，因此，测头的半径或者形状的小误差不会影响到测量中 参数的计算。 如果需要特殊的边界值，必须定义比率。相位补偿滤波器的计量特征轮廓滤波器是没有相位滞后(由于波长引起的剖面变形) 的相位补偿滤波器。相位补偿滤波器的加权函数表现出达到50%截止波长的振幅传送的正态分布(高斯)。用最小二乘方法抑制标称特性，如圆柱部分的弧度和平面倾斜度等。说明： 从实际表面的相交点获得，并且有一个平面垂直于它。说明： 测针式中心位置在工件表面的行程。说明： 从电子细分测量中获得数据。断面轮廓应用截止波长λs的低通滤波器以后，电子细分总轮廓就可以获得主轮廓。粗糙度轮廓用截止波长λc的高通滤波器抑制长波分量，就可以从主轮廓中获得粗糙度轮廓。 通过主轮廓的轮廓滤波器λf和剖面滤波器λc获得剖面轮廓。用剖面滤波器λf抑制长波分量，用剖面滤波器λc抑制短波分量。JIS B 0632:2001 (ISO 11562:1996)
元のページ ../index.html#536