HH-29影像传感器反射光激光束测量移动方向斑纹图样XY工作台XY工作台工作台MICSYS (影像相关二维编码器) 的原理测量原理当用激光束照射表面粗糙的对象，反射从产生可见的散斑干涉的表面散射而来的斑纹图样。由于在XY平面上的物体运动，斑纹图样也相应地移动。通过比较影像的相关性、运动前后的斑纹图样，可以计算出物体的位移，这就是高精度MICSYS测量系统中所使用的原理。应用1. 使用在生产设备和检查系统的工作台的评价3. 细微位移的测量2. 高精度的工件定位a)定位性的评价a)结构的细微位移的测量b)静止稳定性和漂移装置的评价b)工件的微小位移的测量温度、湿度、电压波动或其它因素引起的测量位移测量由温度和湿度或其它因素引起位移，以及由材料附着过程中产生的位移等驱动器结构(梁)驱动器设置和清除负荷
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