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H-28H 三丰公司秉承持续创新向客户提供最新技术体验的理念。因此保留对产品的技术规格进行变更的权利。规格如有变更,恕不另行通知。H-28H指示精度:a(µm)有效定位范围0ε误差aX 测点有效定位范围0ε误差指示精度:± (µm)a2 a2±X 测点定义直线栅尺精度位置显示精度直线栅尺精度是直线栅尺显示的比较位置值与在使用如下图所示的高精度检测系统的正常间隔下的激光测长仪的相应值相比较来决定的。作为检验环境温度为20˚C时,刻度准确性仅适用在此温度的环境中。用于其它检查温度需符合内部标准。各测量点精度(误差)的值,根据如下公式求出。 误差=激光测长器的基准值 – 直线栅尺的测量值在这里,用“精度”或者“误差”的表示具有相同的意义。把有效长度上各测量点的误差绘制成图形,也称作精度线图。以精度线图为基础,在误差最大值和最小值的范围内标记光栅尺的指示精度。标记方法有如下2种情况。对于①②的表示,①的a,和②的±a/2是同一指示精度的规格值。直线栅尺可以检测出有一定间距刻度的直线栅尺为基准的移动量和位移量。通过刻度检测,可以得到和刻度相同间距的二相正弦波信号,把它们内插在电路中,可以读取比直线栅尺的刻度更细小的读数。内插是插补二相正弦波,分割相当分辨力的脉冲信号。例如,刻度间距为20µm的时候,可以读取1µm分辨力的读数。在这里,根据这个内插处理的正确性,在刻度间距范围内会产生误差。这个称为内插精度。直线栅尺指示精度的规格值是,在上述一定间隔内的包含检查误差和内插精度在内的对象。激光测长仪计数器光波干涉仪激光源 数码计数器 计算机栅尺单元固定装置立方角激光束光轴移动台精度检查系统概略图①不平衡精度规格 - 最大减最小误差这种方法简单地指示最大误差减去精度图上最小值,如下图所示。它按照公式:E= (α+βL)µm。L是有效测量范围(mm),α和β为每款特定的因素。例如,如果某一特定类型的栅尺有一个(3 +3L———1000)µm 的精度规格和1000mm的有效测量范围,则E为6µm。②误差的最大值与最小值的范围大小为±a/2,表示误差的最大值与最小值的中心值为0,最大值为+a/2表示、最小值为-a/2表示,误差的范围大小为±a/2表示。这种表示主要适用分离式栅尺。刻度误差在任何一点的范围

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