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H-27HAbsolute 直线栅尺的原理(例:ABS AT300, ABS AT500-S/H)图1MADE IN JAPANAT5003768mmOPTCOAMEDFIN3768mm58.88mm0.92mm20µm(512)(512)(400)(4096)7.36mm0.115mm(512)约1.8µm0.05µm0.005µm静电容量式光电式信号周期 (分割数) 分辨率如图1所示,直线栅尺通电后进行COA信号的位置检测,根据位置信息检测出位于MED的哪个波长周期的哪个位置上。同样,对FIN和OPT进行位置检测,通过微处理机最终得出0.05µm或0.005µm的分辨力的绝对值。

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