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专利技术与设备

MEMS technology

三丰已经利用MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）技术，独立开发出可以测量极小孔内径的测头，实现了从前无法想象的精细部位测量。
UMAP probe / Micro EDM

UMAP测头/Micro EDM

Micro EDM (micro electrical discharge machine)

Micro EDM（micro electrical discharge machine：超微部电火花加工机）


MEMS技术的应用
应用MEMS技术开发出了各种传感器。
ICP etching equipment (for Si-MEMS)

ICP刻印设备（用于Si-MEMS）
Application examples Micro acceleration sensor

微型加速传感器应用范例

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